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用于深脑刺激与神经调控的超声面阵探头及其制备方法首先制备出M*N型压电复合材料,溅射电极层后进行电极切割划分,此切割工艺将相对面的电极信号引线引在同一面。然后添加第一匹配层、第二匹配层和声透镜。最后用镂空的FPC板焊在面阵的行电极或列电极上。再添加背衬层,用外壳将以上制备的探头封装。采用压电复合材料阵列单面行、列接线方式,每个阵元的工作状态由电压在某一行(或列)、某一列(或行)的通或断来选择控制,减少引线数目。同时,采用单面集中引线方式更加简单、快捷、可靠。因此,对匹配层、背衬层是否导电没有限制,并且不用切割匹配层、背衬材料,降低了工艺难度和复杂度。
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